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Cryopumps e Cryotraps

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Introduzione al prodotto

Pompa del vuoto criogenico: una pompa a vuoto criogenico è un elevato dispositivo di acquisizione del vuoto basato sull'effetto di riduzione della pressione di condensazione dei gas, che condensa i gas condensabili su superfici fredde e adsorbi di gas non condensabili su adsorbenti solidi freddi, riducendo così la pressione in una camera sigillata . Le pompe a vuoto criogeniche sono ampiamente utilizzate nelle industrie integrate su larga scala e in pan-semiconduttore, dove svolgono un ruolo insostituibile nella fotolitografia, nell'attacco, nell'impianto di ioni, nella deposizione di vapore fisico e nei processi di rivestimento per i telefoni cellulari, fornendo il condizioni di vuoto elevate necessarie nelle industrie sopra menzionate.
ApplicationsCryOpumps sono ampiamente utilizzati in vari campi, tra cui: produzione a semiconduttore: per i processi che richiedono condizioni a vuoto ultra-alta (UHV). Simulazione dello spazio: creare ambienti di vuoto che imitano lo spazio esterno. Coating di vacuum: in applicazioni come i sistemi di sputtering e l'epitassia del raggio molecolare (molecolare MBE). Research e sviluppo: nei laboratori che richiedono ambienti puliti e privi di idrocarburi.
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