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ICTP250W Semiconductor Cryopump intelligente
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Pompe criogeniche ICTP200
Cryopumps ICTP320
Descrizione del prodotto
Il pompaggio criogenico intelligente a semiconduttore ICTP è un sistema di pompe criogeniche completamente intelligente con funzionalità di funzionamento, rigenerazione rapida e completamento della completa, nonché la capacità di eseguire il monitoraggio di atterraggio.
Per parametro PVD
250W-PVD
Per il parametro di impianto ionico
250W-Ion
Caratteristica principale
1.A ha una funzione di rigenerazione rapida
2.Lt ha una funzione di rigenerazione completa
3. Rilevare automaticamente il grado di vuoto di criopump
4. Sistema di rigenerazione automatica per il riscaldamento interno e il riempimento del nitrogeno
5.Vitto di ricarica di azoto esterno
6.Cubito con una valvola di sicurezza che può essere collegata al dispositivo di trattamento del gas di coda di coda
7. Intelligente Tecnologia "adattivo" tecnologica-automatica a bassa temperatura di compensazione del carico termico-Warlable Frequenza MOTORE SISTEMA
8. I costi di aochisizione di ampliamento, ogni compressore, possono supportare più pompe più efficienti dal punto di vista energetico senza alcuna modifica del motore a velocità wardibile alla capacità può massimizzare la durata della pompa
9. Operazione locale o remota può essere realizzata
10. Appare con la maniglia del funzionamento, può realizzare query e modificare i parametri di modifica dei parametri
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