Unità di controllo del sistema Cryopump

L'unità di controllo del sistema Cryopump è il "cervello" dell'intero sistema Cryopump, che è responsabile della regolazione precisa e del monitoraggio completo del funzionamento del Cryopump per garantire il funzionamento stabile ed efficiente del Cryopump.

Caratteristiche chiave:

• Controllo operativo: intraprende il compito chiave di avviare e arrestare la pompa criogenica e può regolare accuratamente la velocità della pompa in base alla domanda effettiva. Regolando la velocità, la velocità di pompaggio del Cryopump può essere controllata in modo flessibile per adattarsi a diversi ambienti di vuoto e requisiti di processo. Ad esempio, in diverse fasi della produzione di semiconduttori, la domanda di livello di vuoto cambia in modo dinamico e l'unità di controllo può regolare di conseguenza la velocità del Cryopump per mantenere uno stato di vuoto adatto.
• Monitoraggio dei parametri: monitoraggio in tempo reale di una serie di parametri chiave nel sistema Cryopump, inclusi ma non limitati a temperatura, pressione, livello di liquido, ecc. Nel caso del monitoraggio della temperatura, ad esempio la temperatura del sistema di refrigerazione di A CryOPUMP influisce direttamente sulle sue prestazioni e l'unità di controllo traccia continuamente questi dati di temperatura per garantire che l'apparecchiatura funzioni nell'intervallo di temperatura appropriato. Una volta che il parametro fluttua in modo anomalo, il meccanismo di protezione corrispondente viene attivato immediatamente.
• Protezione della sicurezza: meccanismo di protezione della sicurezza integrata per garantire la sicurezza delle attrezzature e del personale in modo a tutto tondo. Quando la pressione del sistema viene rilevata per essere troppo elevata, il dispositivo di scarico della pressione viene rapidamente iniziato a prevenire gravi incidenti come danni alle attrezzature o addirittura esplosione causata da una pressione eccessiva; Se la corrente del motore è risultata sovraccarica, tagliare l'alimentazione in tempo per evitare che il motore si esaurisca. Allo stesso tempo, ha anche le funzioni di protezione delle perdite e protezione eccessiva per costruire una linea di sicurezza solida per il funzionamento stabile del sistema.
• Diagnosi di guasti e allarme: analisi intelligente dello stato operativo del Cryopump in ogni momento, una volta catturata la situazione anormale, il tipo di guasto e la posizione possono essere diagnosticati rapidamente e accuratamente. Ad esempio, quando l'efficienza di pompaggio della pompa diminuisce improvvisamente, l'unità di controllo analizza i parametri pertinenti per determinare se l'adsorbente all'interno della pompa non è riuscito o la tubazione è trapelata. Dopo la conferma dell'errore, un segnale di allarme udibile e visivo verrà inviato immediatamente e le informazioni sull'errore verranno chiaramente visualizzate sullo schermo per ricordare all'operatore di affrontarlo in tempo.